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光伏行业 等离子体增强化学气象沉积

所属分类:应用领域    发布时间: 2019-10-28    作者:
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光伏行业

等离子体增强化学气象沉积(PECVD):作为制备高效晶体硅太阳能电池的重要步骤,使用高精度、快速响应的MFC是制备**薄膜的必要条件。

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