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光伏行业 单晶炉氩气控制

所属分类:应用领域    发布时间: 2019-10-28    作者:
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单晶炉氩气控制:使用MFC用来测控并控制高纯度氩气输入的流量,提高单晶炉内的真空度和温度场的控制精度,从而得到均匀、排列**的单晶硅。

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