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半导体行业 化学气相沉积(CVD)

所属分类:应用领域    发布时间: 2019-10-28    作者:
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半导体行业

化学气相沉积(CVD):利用高精度的质量流量控制[ 以下简称MFC]质量流量计[以下简称MFM]有利于..控制输出气体,确保近乎**的晶圆镀膜品质。

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