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半导体 刻蚀工艺(ETCH)

所属分类:应用领域    发布时间: 2019-10-28    作者:
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半导体 刻蚀工艺(ETCH)

刻蚀工艺(ETCH):通过MFC..控制真空状态下的反应气体,对半导体材料进行等离子刻蚀,得到所需要的精密微观几何结构。

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