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半导体 刻蚀工艺（ETCH）

所属分类：应用领域    发布时间： 2019-10-28    作者：
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半导体 刻蚀工艺（ETCH）

刻蚀工艺（ETCH）:通过MFC..控制真空状态下的反应气体，对半导体材料进行等离子刻蚀，得到所需要的精密微观几何结构。

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